美國(guó)Lumina公司表面缺陷光學(xué)掃描儀
 美國(guó)Lumina公司采用**的激光器掃描技術(shù)開(kāi)發(fā)出一種新型的光學(xué)掃描系統(tǒng)AT1，用來(lái)對(duì)材料整個(gè)表面的缺陷進(jìn)行繪圖和分類(lèi)，薄膜缺陷掃描靈敏度<0.5nm。其在透明材料上亞納米薄膜涂層的成像能力是****的，可區(qū)分透明基底的頂部/底部特征。AT1已被普遍用于藍(lán)寶石、玻璃和硅等材料的表面缺陷檢測(cè)。
 
 美國(guó)Lumina公司表面缺陷光學(xué)掃描儀產(chǎn)品特征：
 1.透明、半透明和不透明的材料均可測(cè)量，比如硅、化合物半導(dǎo)體或金屬基底；
 2.實(shí)現(xiàn)亞納米的薄膜涂層、納米顆粒、劃痕、凹坑、凸起、應(yīng)力點(diǎn)和其他缺陷的全表面掃描和成像；
 3.150mm晶圓全表面掃描的掃描時(shí)間為3分鐘，50x50mm樣品30秒內(nèi)可完成掃描并顯示結(jié)果；
 4.高抗震性能，系統(tǒng)不旋轉(zhuǎn)，形狀無(wú)關(guān)，可容納非圓形和易碎的基底材料；
 5.高達(dá)300x300mm的掃描區(qū)域；可定位缺陷，以便進(jìn)一步分析；
 
 AT1有四個(gè)檢測(cè)通道，采用四種獨(dú)立的方法：偏振，亮場(chǎng)，坡度和暗場(chǎng)，幾分鐘內(nèi)，就能提供材料表面的四張完整圖像，每個(gè)圖像代表特定的缺陷：
 1.偏振通道用于薄膜、劃痕和應(yīng)力點(diǎn)；
 2.坡度通道用于凹坑、凸起；
 3.反射通道用于粗糙表面的顆粒；
 4.暗場(chǎng)通道用于微粒和劃痕；
 
 基于多次檢測(cè)，AT1生成缺陷圖和報(bào)告，包括：
 1.地圖和位置；
 2.顏色標(biāo)注的缺陷；
 3.缺陷的尺寸和圖像；